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单晶炉配件回收-单晶炉全新价格参数
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上海单晶炉设备回收公司-021-63812185王经理13916913086

产品详情

价格:面议 最小采购量:不限 品牌/型号:qk/cz 功率:800kw(W)

产品介绍
单晶炉的详细信息
  • 品牌/型号:qk/cz

  • 功率:800kw(W)



单晶炉产品介绍:机械特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性;籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件,无泄露,长期使用不需充磁;精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试,高速旋转下籽晶晃动小于2mm,适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱、双滚动直线导航、精密滚珠丝杠以及进口精密减速器等功能件完美组合设计,确保坩埚系统在超重超低速工况下长期平稳运行。浮动式翻板阀设在主副炉室之间,可在热场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。液压传动装置能准确的完成主炉室和副炉室的开启,炉室、副炉室上升到位后对称旋出,保证主机稳定可靠,并便于机动取出晶体,拆装热场系统和清理炉内各部。炉体部件采用316L不锈钢,法兰整体锻造,经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验及氦质朴检漏仪检漏。电气特点(1)本系统采用PLC,工业彩色触摸屏,因此系统结构简单,具有用电省, 发热小的特点。系统可靠性很高,不会死机。同时触摸屏和PLC间工作独立,连接仅仅使用1根通讯线即可。(2) 控制软件
系统能按照工艺员写入的工艺文件,进行半自动拉晶,可以在显示器上修改,立即生效,操作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加功率限制,信号故障判断诊断功能,可以排除观察孔污染,信号被干扰,加热电源故障,加热器短路,加热器电阻突变,人工输入失误等错误。(3) 工作站监控系统
本系统还配置有工作站监控系统,用一台PC机可同时监控8台单晶炉,采用RS422高速通讯,光电隔离,可靠性高。(4) 电气硬件设置
本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理,各个模块间连接简单,单个模块可以带电独立维修,电机保护采用空气开关和保险丝结合的方法便于操作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。整个机箱布局合理,简单。同时带有双色声光报警灯进行提示。技术参数1、电源电压:380VAC±5%
2、电源频率:50HZ
3、电源相数:3相3线制
4、变压器容量:190KVA
5、加热器最大加热功率:160KW
6、最高加热温度:1600℃
7、加热器最高加热电压:60V
8、冷炉极限真空度:<3Pa
9、晶体直径:¢6〞~¢8〞
10、熔料量 :90Kg
11、主炉室尺寸:φ900×1250mm
上炉室尺寸:φ900×900mm
下炉室尺寸:φ900×350mm
12、翻板阀通径:φ280mm
13、封头炉盖高度:410mm
14、副炉室尺寸:φ280×2500
15、籽晶转速范围:1~40rpm
16、籽晶拉速范围:0.2~8mm/min
17、籽晶快速:≥350mm/min
18、籽晶在炉内有效行程:3500mm
19、籽晶在副室内有效行程:2100mm
20、坩埚升速范围:0.02~1mm/min
21、坩埚快速:≥100mm/min
22、坩埚在炉内有效行程:400mm
23、坩埚转速范围:1~30rpm
24、两个电极孔孔距:480mm
25、耗水量:25m3/h
26、主机占地面积:2500x2000mm
27、主机最大高度:6800mm
28、主机重量:约7500Kg