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单晶硅生长炉
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单晶硅生长炉
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单晶硅生长炉编辑

单晶硅生长炉[1] 是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。
1、主机部分:
●机架,双立柱
●双层水冷式结构炉体
●水冷式阀座
●晶体提升及旋转机构
●坩埚提升及旋转机构
●氩气系统
真空系统及自动炉压检测控制
●水冷系统及多种安全保障装置
●留有二次加料口
2、加热器电源:
全水冷电源装置采用专利电源或原装进口IGBT及超快恢复二极管功率器件。配以特效高频变压器,构成新一代高频开关电源。采用移相全桥软开关ZVS)及CPU独立控制技术,提高了电能转换效率,不需要功率因数补偿装置。
3、计算机控制系统
采用PLC和上位工业平板电脑PC机,配备大屏幕触摸式HMI人机界面、高像素CCD测径ADC系统和具有独立知识产权的“全自动CZ法晶体生长SCADA监控系统”,可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。