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目前国内外晶体生长设备的现状

目前国内外晶体生长设备的现状
江南电力光伏科技有限公司
  江南电力光伏科技有限公司,公司引进消化吸收国外先进技术研发环保清洁可再生新能源产品——太阳能光伏发电站和风力发电站的相关设备。其中硅单晶生长炉设备有两大系列三个品种,具有自主知识产权。生产的单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)TDR—JN系列全自动晶体生长炉具有自主知识产权,是采用直拉法生长P型或N型单晶硅材料的专用设备。装料量从95Kg~150Kg,可拉制6"~12"电路级和太阳能级单晶硅棒。
上虞晶盛机电工程有限公司
  上虞晶盛机电工程有限公司是一家专业从事半导体材料生产设备的设计、制造和调试的股份制企业。通过人才引进,公司拥有一批高、中级专业技术型的研发设计人员和经营管理人才,具有独立自主的产品设计开发能力和相当规模的生产能力。
  公司依托浙江大学机械电子控制工程研究所的高科技优势,通过与浙江大学国家大学科技园杭州慧翔电液技术开发有限公司合作,共同开发出拥有自主知识产权的ZJS系列TDR80A,TDR80B,TDR85A,TDR95A型全自动晶体生长炉,并形成批量生产。
中国西安理工大学研究所
  国内以西安理工大学的晶体生长设备研究所为代表,自61年起开始生产晶体生长设备。主要产品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。上虞晶盛机电工程有限公司是国内单晶硅生长炉行业的后起之秀,自主研发了真正的全自动控制系统,产品迅速占领了IC级硅材料行业和高端太阳能行业,主要产品有TDR80A-ZJS、 TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR85A-ZJS、TDR95A-ZJS、TDR112A-ZJS。
美国KAYEX公司
  国外以美国KAYEX 公司为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX公司是目前世界上最大,最先进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初就进入中国市场,已成为中国半导体行业使用最多的品牌。该公司生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
德国CGS GmbH公司
  德国Crystal Growing Systems (CGS) GmbH公司成立于1999年8月,其前身为德国莱宝公司晶体生长部。目前其产品已经覆盖生产6”到16”单晶硅棒的设备,设备主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300,EKZ 3000/400型,投料量分别为60kg、150kg、300kg,400kg。
  EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/400
  图6 德国CGS公司单晶炉图(来自公司产品样本)

近年来,国产单晶硅生长炉设备行业发展迅速,已经占据绝大部分的国内市场份额。

首先,国内单晶硅生长炉设备领域技术进步明显,逐步解决了单晶硅生长炉的关键技术难题,可以满足太阳能光伏晶体硅制备的需求。

其次,国产设备相比进口设备拥有明显的成本优势,行业平均价格只有进口设备的1/36;本公司生产的全自动单晶硅生长炉产品主要服务于行业排名前列的大型客户,产品销售价格虽然明显高于其他国内厂商,但售价仍然只有国外同类设备的2/3 左右,因此,使用国产设备可以大大降低国内硅片企业的设备投资成本。

再次,国内企业还拥有贴近市场、反应迅速、服务便捷的明显优势。凭借这些优势,国产光伏设备不仅占据了国内绝大部分市场,还实现了批量出口亚洲市场,少量出口到欧美市场。