上海河辰物资有限公司 回收中频电炉单晶炉热线:13916913086      
 
快速搜索
在线客服
 工作时间
周一至周五 :6:00-20:00
周六至周日 :8:00-17:00
 联系方式
王经理:13916913086
邮箱:393953347@qq.com
公司电话:021-63812185
公司网址:www.shxjhs365.com
新闻详情
悬浮区熔单晶炉特点与设备简介
文章附图

悬浮区熔单晶炉编辑

悬浮区熔单晶炉(float zone crystal growth furnace) 用于悬浮区熔提纯与悬浮单晶生长的装置。主要用于区熔硅的提纯和单晶生长,已用于工业生产半导体材料。
中文名
悬浮区熔单晶炉
外文名
float   zone   crystal   growth   furnace
用    途
区熔硅的提纯和单晶生长
类    型
悬浮单晶生长的装置

目录

1设备简介

2设备特点

1设备简介编辑

悬浮区熔单晶炉(float zone crystal growth furnace)  用于悬浮区熔提纯与悬浮单晶生长的装置。主要用于区熔硅的提纯和单晶生长,已用于工业生产半导体材料。结构由两部分组成,即炉室和机械传动部分以及电气控制柜和高频发生器部分。炉室为一不锈钢水套式直立容器,可抽高真空或通入流动氩气。从炉室顶底端各插入上轴和下轴,上轴下端夹持一根多晶硅棒,下轴顶端夹持一籽晶。炉室中央装设一单匝高频加热线圈。上下轴可分别旋转和升降。电气控制柜上装有指示仪表、调速旋钮、按钮开关。柜内装有电机控制系统等。高频发生器的频率为2~2.5MHz、功率为40~60kw。炉子结构如图所示。

2设备特点编辑

20世纪50年代时的区熔炉多为多匝线圈石英管外热式炉,直径小(φ≤20mm)。60年代以后演变为单匝线圈、不锈钢炉室内热式炉,采用高纯流动氩气氛,单晶直径增至50mm。70年代,单晶的直径达76.2mm,同时炉室中增设了晶体夹持机构,因此避免了区熔长的单晶时会出现硅棒歪倒、熔区流失的事故。解决了生长大直径长单晶的技术问题。80年代以来,能大量生产夺100~125mm单晶的大型区熔炉已被应用于硅材料的生产中。也有少数设备利用计算机控制拉晶过程。目前拉制十150mm的大型区熔炉也已试制出来。使用高真空区熔炉可在高真空下进行硅棒的区域提纯;以制备特高阻的单晶硅。
现代区熔炉的特点:(1)高大的不锈钢炉室,炉子总高度达到7~8m以上。(2)上下轴行程长达1.5~2m,可生产长单晶。(3)特殊设计的单匝高频线圈,甚至有活动可分离式线圈。(4)高频发生器功率达60kw以上,振荡频率为2~2.5MHz。(5)自动化程度高,采用计算机进行数据采集和处理。(6)具有晶体夹持机构。(7)电极筒为移动式的。(8)具有高纯氩循环使用系统和冷却水循环系统。